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產品詳情

（青島福潤德微電子設備有限公司）設備用途:
     用于半導體器件燒結、焊接、烘干、管殼氣密封裝等。
鏈（帶）式燒結爐特點       
      1、本設備為氣氛保護爐，保護氣氛為氫氣、氮氣、氬氣等。
      2、設備具有連續工作性，保證生產效率。
      3、獨特的氣幕簾結合，確保爐膛與空氣隔絕。
      4、多溫區控制爐溫，方便調整工藝曲線。
      5、鏈帶速度無級連續可調。
      6、根據用戶要求可配加濕器
鏈(帶)式燒結爐主要技術指標
     1、帶寬          90～350mm
      2、爐膛高度      100～200mm
      3、爐膛寬度      100～370mm
      4、冷卻段長      1000～6000mm
      5、溫度范圍      300～1050℃
      6、等溫區長      600～1500mm
      7、控制精度      ±2℃
      8、控制段數      4～10段
      9、帶速         20～500mm/min
      10、升溫時間      90～240min
      11、升溫功率      20～120KVA
      12、保護氣體      3～5路氮氣0～100L/min 
                                1路氫氣0～80L/min