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地址:中國山東青島市北萬工業園福潤德路6號
聯系人:顏先生
手機:13658669338
傳真:0532-68017157
型號:可訂制
規格:
(青島福潤德微電子設備有限公司)臥式真空爐用于真空條件下集成電路、電力電子器件生產線對所生產產品進行燒結、合金、退火、焊接等工藝處理。具有控溫精度高,降溫速度快的特點。
真空爐技術指標:
1、石英管真空室:1~3室
2、真空度:1Pa,加擴散泵5×10-3 Pa
3、工作溫度:<1300℃
4、控溫精度:1℃
5、等溫區長度:根據工藝要求
6、控制方式:程控、微控
7、工作方式:自動或手動自由轉換
8、單點精度:1℃/24h
9、正壓、負壓均采用數字顯示表可多工位同時工作